「オンライン化」とは、上位システム(MES)と生産設備を接続し、MESからの条件指定によって製品加工、測定を行うための仕組みです。工場の自動化、合理化を推進する上で必須の機能ですが、生産設備の導入時期によって難易度は変わってきます。
例えば、300mmライン以降のラインでは標準化が進んでおり、その仕様に準拠した仕様であれば比較的容易に接続することが可能です。一方、5インチ設備や6インチ設備等のある程度古い時期に導入された設備では、そのオンライン仕様はメーカー毎に異なることが一般的です。そのため、装置仕様を考慮しながら自社MESに接続するようにオンライン化を検討する必要があり、お客様側の運用を理解した上で、仕様を決定し、実装を進めることになります。
半導体工場の長年の実績
サニー技研は、5インチ設備が主流の時代から半導体製造装置のオンライン化を実施してきました。蓄積された実績と経験により、お客様のご要求にマッチするオンライン化のお手伝いをさせて頂きます。
また、オンライン化出来ない設備についてもレシピ選択ミスの防止や運用の簡易化等の改善のご提案や、お客様側の仕様に応じたツール、システムの導入をソフトウェアだけでなく、ハードウェアの開発も含めて、ご支援、ご提案が可能です。